Isolast® PureFab™ FFKM
Maximiser le temps de fonctionnement des processus de semi-conducteurs avancés dès maintenant
Spécialement conçus pour les applications critiques des semi-conducteurs, les matériaux FFKM Isolast® PureFabTM offrent les meilleures performances en matière de scellement plasma haute pureté.
Trelleborg Sealing Solutions lance quatre matériaux de sa gamme Isolast® PureFab™ conçus spécifiquement pour les applications critiques d’étanchéité des semi-conducteurs. Pour les équipementiers et les usines, l’utilisation de ces formulations uniques d’élastomères perfluorés (FFKM) augmentera les performances des produits et réduira les défauts de fabrication. En retour, les temps d’arrêt sont réduits, les cycles de maintenance des produits sont prolongés, la durée de fonctionnement des outils de production est augmentée et le coût total de possession est réduit.
Dotés d’excellentes propriétés mécaniques, tous les matériaux semi-conducteurs Fab Four présentent la plus grande pureté de leur catégorie, sans compromettre la résistance au plasma, le dégazage et la stabilité thermique. Individuellement, les matériaux sont les meilleurs de leur catégorie en termes de caractéristiques spécifiques :
- Isolast® PureFab™ JPF10 pour la résistance au plasma à distance avec une formulation entièrement organique.
- Isolast® PureFab™ JPF20 pour une résistance globale au plasma et un minimum de particules dans les environnements difficiles.
- Isolast® PureFab™ JPF21 stabilité thermique à long terme et faible contamination par les métaux traces.
- Isolast® PureFab™ JPF30 pour des températures élevées et une pureté extrême à la pointe du marché dans un matériau translucide.
Caractéristiques et avantages d'Isolast® PureFab™.
- Stabilité à haute température
- Pureté maximale
- Teneur en métaux traces exceptionnellement faible
- Excellente résistance au plasma
- Meilleure performance dans les processus frontaux agressifs tels que le dépôt, la gravure, le décapage, le nettoyage par plasma et le traitement thermique tel que le dépôt par couche atomique.
- Réduction de la production de particules et très faible dégazage dans des conditions de vide poussé
- Il permet aux utilisateurs finaux de prolonger les cycles de maintenance de leurs produits, tout en garantissant une performance maximale des processus.
- Tous les joints Isolast® PureFab™ sont fabriqués et conditionnés dans un environnement de salle blanche de classe 100 (ISO5) afin de garantir la pureté du produit.
Isolast® PureFab™ JPF22
- Le système de renforcement par charges synthétiques maximise les performances mécaniques.
- Très faible lixiviabilité selon SEMI F40/F57
- Excellente résistance aux produits chimiques agressifs à base d’amine
- Faible teneur en métaux traces pour un rendement élevé des processus
- Excellente compatibilité chimique avec les gaz de traitement secs courants dans les processus moins critiques
- Formation minimale de particules et perte de poids après exposition à une large gamme de gaz de traitement au plasma
Isolast® PureFab™ JPF30
- Matériau translucide extrêmement pur sans charge
- Teneur en métaux traces extrêmement faible
- Stabilité thermique inégalée par rapport aux matériaux translucides concurrents, même à +300°C
- Convient aux processus de cendrage et de banderolage ainsi qu’aux applications nécessitant une faible résistance au scellement.
Isolast® PureFab™ JPF40
- Sa chimie de réticulation unique permet une faible déformation rémanente à la compression pendant des périodes prolongées, ce qui garantit l’intégrité du joint.
- Stabilité thermique inégalée jusqu’à +327°C/+620°F
- Faibles propriétés de dégazage
- Très faible contamination par des traces de métaux par rapport à d’autres FFKM noirs à haute température
- Excellente compatibilité chimique avec les gaz de traitement secs courants
- Formation minimale de particules et perte de poids après exposition à une large gamme de gaz de traitement au plasma
*L’élastomère fluoré est souvent appelé FKM FPM ou VITON™, d’après la marque bien connue qui le produit. Vous pouvez voir ce caoutchouc répertorié à différents endroits avec ces différents noms, mais il s’agit d’un seul et même produit.
Dans les années 1960, le besoin d’un polymère plus résistant aux produits chimiques et capable de supporter des températures plus élevées se faisait de plus en plus sentir. Le résultat naturel a été les élastomères perfluorés, qui combinent la résistance chimique du PTFE avec la flexibilité et l’élasticité du FKM normal. Dans un premier temps, cette nouvelle phase de la technologie des élastomères était presque exclusivement réservée aux programmes spatiaux et aux procédés chimiques. Cependant, le FFKM a rapidement été adopté par l’ensemble de la communauté industrielle une fois que ses propriétés ont été connues.
Aujourd’hui, le FFKM est un composant standard dans de très nombreuses industries. Bien que la structure du polymère soit restée largement inchangée depuis l’introduction des élastomères perfluorés, le processus de polymérisation a été affiné au fil des décennies et les matériaux FFKM peuvent être développés dans le cadre d’un processus de production plus sûr et plus respectueux de l’environnement.
