Isolast® PureFab™ FFKM
Maximize agora o tempo de actividade dos processos avançados de semicondutores
Especialmente concebidos para aplicações críticas de semicondutores, os materiais Isolast® PureFabTM FFKM oferecem o mais elevado desempenho em vedação por plasma de elevada pureza.
A Trelleborg Sealing Solutions está a lançar quatro materiais da sua gama Isolast® PureFab™ concebidos especificamente para aplicações críticas de vedação de semicondutores. Para OEMs e fábricas, a utilização destas formulações exclusivas de perfluoroelastómero (FFKM) aumentará o desempenho do produto e reduzirá os defeitos do processo. Por sua vez, o tempo de inactividade é reduzido, os ciclos de manutenção do produto são alargados, o tempo de funcionamento da ferramenta de processo é aumentado e o custo total de propriedade é reduzido.
Com excelentes propriedades mecânicas, todos os materiais semicondutores Fab Four demonstram a mais elevada pureza da sua classe, sem comprometer a resistência ao plasma, a desgaseificação e a estabilidade térmica. Individualmente, os materiais são os melhores da sua classe em termos de características específicas :
- Isolast® PureFab™ JPF10 para resistência remota ao plasma com formulação totalmente orgânica
- Isolast® PureFab™ JPF20 para uma resistência global ao plasma e um mínimo de partículas em ambientes agressivos
- Isolast® PureFab™ JPF21 estabilidade térmica a longo prazo e baixa contaminação por vestígios de metais
- Isolast® PureFab™ JPF30 para alta temperatura líder de mercado e pureza extrema num material translúcido
Características e vantagens de Isolast® PureFab™.
- Estabilidade a altas temperaturas
- Pureza máxima
- Teor excepcionalmente baixo de metais vestigiais
- Excelente resistência ao plasma
- Melhor desempenho em processos front-end agressivos, tais como deposição, gravura, incineração/cisalhamento, limpeza por plasma e processamento térmico, como a deposição de camada atómica
- Geração reduzida de partículas e desempenho de desgaseificação ultra-baixo em condições de alto vácuo
- Permite aos utilizadores finais prolongar os ciclos de manutenção dos seus produtos, assegurando simultaneamente o máximo desempenho dos processos.
- Todos os anéis de vedação Isolast® PureFab™ são fabricados e embalados em um ambiente de sala limpa Classe 100 (ISO5) para garantir a pureza do produto.
Isolast® PureFab™ JPF22
- O sistema de reforço de enchimento sintético maximiza o desempenho mecânico
- Extremamente baixa lixiviabilidade de acordo com SEMI F40/F57
- Excelente resistência a produtos químicos agressivos à base de aminas
- Baixo teor de metais vestigiais para elevados rendimentos do processo
- Excelente compatibilidade química com gases de processo secos comuns em processos menos críticos
- Formação mínima de partículas e perda de peso após exposição a uma vasta gama de gases de processo de plasma
Isolast® PureFab™ JPF30
- Material translúcido extremamente puro sem enchimento
- Teor extremamente baixo de metais vestigiais
- Desempenho de estabilidade térmica incomparável em comparação com materiais translúcidos concorrentes, mesmo a +300°C
- Adequado para processos de incineração e colagem, bem como para aplicações que requerem uma baixa resistência de vedação
Isolast® PureFab™ JPF40
- A sua química única de reticulação proporciona uma baixa compressão durante longos períodos de tempo, garantindo a integridade da vedação.
- Estabilidade térmica inigualável até +327°C/+620°F
- Propriedades de baixa emissão de gases
- Muito baixa contaminação por metais vestigiais em comparação com outros FFKMs pretos de alta temperatura
- Excelente compatibilidade química com gases de processo secos comuns
- Formação mínima de partículas e perda de peso após exposição a uma vasta gama de gases de processo de plasma
*O fluoroelastómero é muitas vezes referido como FKM FPM ou VITON™, após a conhecida marca que o produz. Poderá ver esta borracha listada em diferentes locais com estes nomes diferentes, mas são todos a mesma coisa.
Nos anos 60, a necessidade de um polímero mais resistente a produtos químicos e capaz de suportar temperaturas mais elevadas estava a aumentar. O resultado natural foram os perfluoroelastómeros, que combinavam a resistência química do PTFE com a flexibilidade e elasticidade do FKM normal. Inicialmente, esta nova fase da tecnologia dos elastómeros estava quase exclusivamente reservada aos programas espaciais e aos processos químicos. No entanto, o FFKM foi rapidamente adoptado pela comunidade industrial em geral quando as suas propriedades se tornaram conhecidas.
Actualmente, o FFKM é um componente padrão de muitas, muitas indústrias. Embora a estrutura do polímero se tenha mantido praticamente inalterada desde a introdução dos perfluoroelastómeros, o processo de polimerização sofreu um processo de aperfeiçoamento ao longo das décadas e os materiais FFKM podem ser desenvolvidos como parte de um processo de produção mais seguro e mais amigo do ambiente.
