Isolast® PureFab™ FFKM
Maximieren Sie jetzt die Betriebszeit für moderne Halbleiterprozesse
Speziell für kritische Halbleiteranwendungen entwickelt, bieten Isolast® PureFabTM FFKM-Materialien die höchste Leistung bei hochreinen Plasmadichtungen.
Trelleborg Sealing Solutions bringt vier Werkstoffe aus dem Isolast® PureFab™ Sortiment auf den Markt, die speziell für kritische Dichtungsanwendungen in der Halbleiterindustrie entwickelt wurden. Für Erstausrüster und Fabriken bedeutet die Verwendung dieser einzigartigen Perfluorelastomer-Formulierungen (FFKM) eine Steigerung der Produktleistung und eine Verringerung der Prozessfehler. Im Gegenzug werden Ausfallzeiten reduziert, Produktwartungszyklen verlängert, die Betriebszeit der Prozesswerkzeuge erhöht und die Gesamtbetriebskosten gesenkt.
Alle Fab Four-Halbleitermaterialien zeichnen sich durch hervorragende mechanische Eigenschaften aus und weisen die höchste Reinheit ihrer Klasse auf, ohne Kompromisse bei Plasmabeständigkeit, Ausgasung und thermischer Stabilität einzugehen. Die einzelnen Materialien sind in Bezug auf ihre spezifischen Eigenschaften die besten ihrer Klasse :
- Isolast® PureFab™ JPF10 für Fernplasmabeständigkeit mit vollorganischer Formulierung
- Isolast® PureFab™ JPF20 für allgemeine Plasmabeständigkeit und minimale Partikelbestandteile in rauen Umgebungen
- Isolast® PureFab™ JPF21: langfristige thermische Stabilität und geringe Spurenmetallkontamination
- Isolast® PureFab™ JPF30 für marktführende hohe Temperaturen und extreme Reinheit in einem lichtdurchlässigen Material
Merkmale und Vorteile von Isolast® PureFab™.
- Hohe Temperaturstabilität
- Maximale Reinheit
- Außergewöhnlich niedriger Gehalt an Spurenmetallen
- Ausgezeichnete Plasmabeständigkeit
- Beste Leistung bei aggressiven Front-End-Prozessen wie Abscheidung, Ätzen, Veraschen/Scheren, Plasmareinigung und thermische Verarbeitung wie Atomlagenabscheidung
- Geringere Partikelbildung und extrem niedrige Ausgasungsleistung im Hochvakuum
- Es ermöglicht den Endanwendern, die Wartungszyklen ihrer Produkte zu verlängern und gleichzeitig eine maximale Prozessleistung zu gewährleisten.
- Alle Isolast® PureFab™-Dichtungen werden in einer Reinraumumgebung der Klasse 100 (ISO5) hergestellt und verpackt, um die Produktreinheit zu gewährleisten.
Isolast® PureFab™ JPF22
- Verstärkungssystem mit synthetischem Füllstoff maximiert die mechanische Leistung
- Äußerst geringe Auslaugbarkeit gemäß SEMI F40/F57
- Ausgezeichnete Beständigkeit gegen aggressive Chemikalien auf Aminbasis
- Geringer Gehalt an Spurenmetallen für hohe Prozessausbeuten
- Ausgezeichnete chemische Kompatibilität mit gängigen trockenen Prozessgasen in weniger kritischen Prozessen
- Minimale Partikelbildung und Gewichtsverlust nach Einwirkung einer breiten Palette von Plasmaprozessgasen
Isolast® PureFab™ JPF30
- Äußerst reines, durchscheinendes Material ohne Füllstoffe
- Äußerst geringer Gehalt an Spurenmetallen
- Unübertroffene thermische Stabilität im Vergleich zu konkurrierenden lichtdurchlässigen Materialien, selbst bei +300°C
- Geeignet für Veraschungs- und Banderolierverfahren sowie für Anwendungen, die eine geringe Siegelstärke erfordern
Isolast® PureFab™ JPF40
- Seine einzigartige Vernetzungschemie sorgt für einen niedrigen Druckverformungsrest über längere Zeiträume und gewährleistet die Integrität der Dichtung.
- Unerreichte thermische Stabilität bis zu +327°C/+620°F
- Geringe Ausgasungseigenschaften
- Sehr geringe Spurenmetallkontamination im Vergleich zu anderen schwarzen Hochtemperatur-FFKMs
- Ausgezeichnete chemische Kompatibilität mit gängigen trockenen Prozessgasen
- Minimale Partikelbildung und Gewichtsverlust nach Einwirkung einer breiten Palette von Plasmaprozessgasen
*Fluorelastomer wird oft als FKM FPM oder VITON™ bezeichnet, nach dem bekannten Markennamen, der es herstellt. Dieser Kautschuk wird zwar an verschiedenen Stellen mit unterschiedlichen Namen aufgeführt, aber es handelt sich um ein und denselben.
In den 1960er Jahren wuchs der Bedarf an einem Polymer, das widerstandsfähiger gegen Chemikalien war und höheren Temperaturen standhalten konnte. Das natürliche Ergebnis waren Perfluorelastomere, die die chemische Beständigkeit von PTFE mit der Flexibilität und Elastizität von normalem FKM verbinden. Anfangs war diese neue Phase der Elastomertechnologie fast ausschließlich für Raumfahrtprogramme und chemische Prozesse reserviert. FFKM wurde jedoch bald von der Industrie übernommen, als seine Eigenschaften bekannt wurden.
Heute ist FFKM eine Standardkomponente in vielen, vielen Branchen. Obwohl die Polymerstruktur seit der Einführung der Perfluorelastomere weitgehend unverändert geblieben ist, wurde das Polymerisationsverfahren im Laufe der Jahrzehnte verfeinert, und FFKM-Werkstoffe können als Teil eines sichereren und umweltfreundlicheren Produktionsverfahrens entwickelt werden.
